[发明专利]抛光材的制造方法无效
| 申请号： | 02129827.0 | 申请日： | 2002-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1475330A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王敬堂;林孟经;姚伊蓬;王格峰 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘朝华 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种抛光材的制造方法，同时得到一种一体成形具有弹性基底层和裸露开孔层的第一抛光材和一种经贴合而成并具适当弹性特质的第二抛光材或晶圆载体，其中两种抛光材均具有均匀平整的表面。具有避免抛光材残余粉屑的污染、简化制程、降低成本、减少废料及使产量和种类增加的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种抛光材的制造方法，其特征是：它是由弹性基底层涂覆聚氨酯树脂液，并经水凝固形成一连续多孔层；将连续多孔层以剖片制程均匀切割，得到第一抛光材和开孔皮膜，其中该第一抛光材是一体成形具裸露开孔层和弹性层的抛光材，另该开孔皮膜粘附贴合另一弹性基底层而形成第二抛光材，其中该第二抛光材为具裸露开孔层并有适当弹性特质的复合抛光材。
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