[发明专利]平版印刷装置和器件的制造方法有效
| 申请号： | 02128184.X | 申请日： | 2002-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1437071A | 公开（公告）日： | 2003-08-20 |
| 发明（设计）人： | J·C·H·穆尔肯斯;A·J·布利克尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 荷兰维尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平版印刷装置，尤其是使用空间光调制器(5)的平版印刷装置，其中投射系统(PL)包括一个装置(10)用于将图案光束(4)分离成图案光束部分(12，15)并将其投射到基片(27)的各个靶部(25，26)上。 | ||
| 搜索关键词： | 平版印刷 装置 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平版印刷投影装置包括：一个用于提供投射光束的辐射系统；根据所需图案用于投射光束形成图案的程控图案形成装置；用于支撑基片的基片台；用于将图案的光束投射到基片靶部上的投射系统；其特征在于投射系统包括：用于将图案光束分离形成多个图案光束部分的装置；第一装置，用于在基片的第一靶部上投射图案光束的第一部分；和第二装置，用于在基片的第二靶部上投射图案光束的第二部分。
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