[发明专利]真空蒸镀聚合装置及采用该装置的有机被膜的形成方法无效
| 申请号： | 02124747.1 | 申请日： | 2002-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1396301A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 白川享志;及川直树 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯电气株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种通过防止在容器内飞舞的粉尘附着到被覆物一侧的面上，从而可以在被覆物一侧的面上形成高品质的有机被膜的真空蒸镀聚合装置及采用该装置的有机被膜的形成方法。本发明的真空蒸镀聚合装置配有可向外部排出内部空气形成真空状态的容器B，可使单体气化的气体发生器14a、14b，将由该气体发生器14a、14b气化的单体气体导入到容器B内的气体导入管15a、15b，在容器B内扩散单体气体并蒸镀形成有机被膜的作为被覆物的基板11，在容器B内，使基板11以规定的倾斜角度C倾斜，在使基板11一侧的面11a向下的状态下，在基板11上蒸镀形成有机被膜。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 聚合 装置 采用 有机 形成 方法 | ||
【主权项】：
1、一种真空蒸镀聚合装置，其特征在于，配有：可向外部排出内部空气形成真空状态的容器，可使单体气化的气体发生器，将由该气体发生器气化的单体气体导入到前述容器内的气体导入管，在前述容器内扩散前述单体气体并蒸镀形成有机被膜的被覆物，在前述容器内，使前述被覆物以规定的倾斜角度倾斜，在使前述被覆物的一个面向下的状态下，在前述被覆物上蒸镀形成前述有机被膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿尔卑斯电气株式会社，未经阿尔卑斯电气株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02124747.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：乳酸加替沙星及其用途
- 下一篇：墨盒以及采用该墨盒的喷墨记录设备
- 同类专利
- 专利分类
