[发明专利]钟摆式微型惯性传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 02123057.9 | 申请日： | 2002-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1464286A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 周正三 | 申请（专利权）人： | 祥群科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱黎光 |
| 地址： | 台湾省新竹市 *** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钟摆式微型惯性传感器及其制造方法，该微型钟摆式惯性传感器包括有一作为质量块的摆锤、一摆杆。该摆杆的一个端点固定在一基板上，另一个端点与所述摆锤相连接；以及至少二固定电极，该两个固定电极对称地设置在摆锤的周围，并在固定电极与摆锤之间具有一起始间距。借助于设在摆锤周边的固定电极可感测出摆锤及固定电极间因位移造成的电容变化，进而检测出惯性改变的大小。本发明中的传感器同时兼顾二维的自由度，并提供大的质量块及大的起始电容值，以得到较佳的操作性能。 | ||
| 搜索关键词： | 钟摆 式微 惯性 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钟摆式微型惯性传感器，包括有：一作为质量块的摆锤；一摆杆，该摆杆的一个端点固定在一基板上，另一个端点与所述摆锤相连接；以及至少二固定电极，该两个固定电极对称地设置在所述摆锤的周围，并在固定电极与摆锤之间具有一起始间距。
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