[发明专利]附着膜回收装置和附着膜的回收方法无效
| 申请号： | 02119835.7 | 申请日： | 2002-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1396042A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 泽江清;迫野郁夫;冈博史;山本圭三;咲花由和;上野睦弘;上野龙三 | 申请（专利权）人： | 夏普公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C3/32;B08B3/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的附着膜回收装置具有对在操作室(22)内的台(26)上放置的、具有附着膜的成膜用机架(25)，对上述附着膜产生水压为30MPa～200MPa的喷水的洗涤枪(51)，用于将操作室(22)内设定成负压的排气扇(62)，以能够密封的形式设置操作室(22)，以抑制喷水产生的飞沫向外部飞散。在上述装置中，从具有金属或者金属化合物的附着膜的成膜用机架上，可经济地再利用上述附着膜，并且，成膜用机架的磨削量小，可以抑制废弃物的产生量。在上述装置中，由于通过喷水可增大得到的附着膜，能够简化并保证上述附着膜片的回收，因此，可以低成本化并促进上述附着膜的再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 附着 回收 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种附着膜回收装置，其是在从放置在保持台上的具有附着膜的成膜用机架上回收上述附着膜的附着膜回收装置，其特征在于，为了回收上述附着膜，具有对上述成膜用机架喷射液体的液体喷射部分。
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