[发明专利]观察装置、紫外线显微镜以及观察方法有效
| 申请号： | 02118611.1 | 申请日： | 2002-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1384384A | 公开（公告）日： | 2002-12-11 |
| 发明（设计）人： | 鹤旨笃司;水野次郎;伊藤信一;高桥理一郎;江间达彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康;株式会社东芝 |
| 主分类号： | G02B21/16 | 分类号： | G02B21/16 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴,朱登河 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种紫外线显微镜,具有用紫外光观察样品的紫外光观察装置;气体供给装置,在用紫外光进行观察中,向样品附近供给非活性气体;定时控制装置,控制通过气体供给装置进行的非活性气体的定时供给。定时控制装置控制气体供给装置,以在用紫外光进行样品的观察前,使非活性气体被予供给,同时至少在用紫外光进行观察中,使非活性气体被正式供给。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 装置 紫外线 显微镜 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用紫外光观察样品的紫外光观察装置，具有：气体供给装置，在用紫外光进行观察中，向样品附近供给非活性气体。
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