[发明专利]一种拉制单晶时加快多晶原料熔化法及底部发热体装置

摘要

本发明涉及拉制单晶时加快多晶原料熔化法及装置，为一种控制单晶时加快多晶原料熔化法及底部发热体装置。可用于加快多晶硅、多晶锗的熔化。其方法是向主发热体通入直流电的同时，向底部发热体(圆盘状发热体)中通入直流电，分别从石英坩埚的侧面和底部加热石英坩埚。其装置是由圆盘状发热体和二个电极组成，在圆盘状发热体上有通孔槽和二个电极孔。本发明缩短了多晶硅原料的熔化时间，节省了电能，增加了单位时间内单晶硅的产量。其底部发热体装置结构简单，易于制造效果显著。

主权项

1.一种拉制单晶时加快多晶原料的熔化法，其特征是，1)在石英坩埚中加入多晶原料，合上炉室，并抽真空；2)向单晶炉中安装在石墨制的石英坩埚支持器与保温筒之间的主发热体(7)中，通入直流电，从石英坩埚的侧面加热石英坩埚；3)在单晶炉的底部装有底部发热体装置，向主发热体通入直流电的同时，向底部发热体装置中的圆盘状发热体中通入直流电，从石英坩埚的底部加热石英坩埚，加快多晶原料的熔化。