[发明专利]交流气体放电显示屏电极组件的制造方法无效
| 申请号： | 02114638.1 | 申请日： | 2002-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1151527C | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 曹瑞林;胡文波;郭彩林;A.N.依弗留什金;N.N.列维娜;V.G薩马洛托夫 | 申请（专利权）人： | 彩虹集团公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J17/49;H01J11/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 100085北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种交流气体放电显示屏的电极组件的制造方法，包括往介质基板上涂敷电极，在电极上形成介质涂层，随后在介质涂层上在氧和氩的混合气体中用磁控溅射器涂敷氧化镁层。氧化镁层的形成为：首先将带有电极和介质涂层的基板在真空中加热至100～200℃，保温不少于30min，磁控溅射器电流18～30A，电压160～210V，压强为(1.0～1.8)×10-1Pa，在氩和氧的混合气体中涂敷第一层氧化镁；然后将基板在真空中加热到300℃至介质涂层变形温度的范围内，磁控溅射器的电流、电压和工作室的压强维持不变，在氩和含氧的混合气体中涂敷第二层氧化镁；每层氧化镁涂层厚度不少于100nm。该方法可得到高发射性能的大结晶结构的MgO层并保证在交流PDP中有短的发生放电的滞后时间。 | ||
| 搜索关键词： | 交流 气体 放电 显示屏 电极 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种交流气体放电显示屏的电极组件的制造方法，包括：往介质基板上 涂敷电极，在电极上形成介质涂层，随后在介质涂层上在含氧和氩的混合气体 中用磁控溅射器将纯镁材料涂敷氧化镁层；其特征在于，氧化镁层的形成分两 个步骤： 第一步，将带有电极和介质涂层的基板在真空中加热至温度100℃～200℃， 在此温度下保温不少于30分钟，磁控溅射器的电流为18A～30A，电压为160V～ 210V，工作室的压强为1.0×10-1Pa～1.8×10-1Pa，这时在氩和含17％～35％氧 的混合气体中涂敷第一层氧化镁； 第二步，将基板在真空中加热到300℃至介质涂层变形温度的范围内，磁 控溅射器的电流为18A～30A，电压为160V～210V，工作室的压强维持在1.0×10-1Pa～1.8×10-1Pa，在氩和含30％～35％氧的混合气体中涂敷第二层氧化镁，此 时，每层氧化镁涂层厚度不少于100nm。
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