[发明专利]用于等离子体诊断的复合探针

摘要

一种新型的复合探针，用于高精度的、实时的与具有空间分辨力的等离子体参数测量，属于等离子体诊断技术领域。其特征在于将朗谬尔(Langmuir)单探针与差分发射探针集成安装在同一探针管内形成一种新型的复合探针，结合朗谬尔(Langmuir)单探针扫描电路、差分发射探针空间电位自动跟踪电路、矩形波脉冲发生电路、计算机接口电路与自动采集与分析数据的计算机软件，实现对等离子体参数的高精度实时测量。其特点是测量精度高、测量速度快、可获取等离子体参数时间与空间分布的信息，还可实时观察朗谬尔(Langmuir)单探针的伏安(V-I)特性曲线，广泛适用于等离子体的科学研究及等离子体的工业应用。

主权项

1.一种用于等离子体诊断的复合探针，其特征是：以单探针与差分发射探针集成安装在同一探针管内构成复合探针，配合复合探针电路，复合探针电路包括单探针扫描电路、差分发射探针空间电位跟踪电路、矩形波脉冲发生电路及计算机接口电路与计算机软件实时地测定等离子体的各种参数。