[发明专利]带有水分过滤器的装置

摘要

外壳内部的腔室通过气体交换通道连通于外壳外部，其中具有疏水毫微孔材料的过滤器元件设置在气体交换通道内。该腔室例如用于容放电子电路，或者用做相对压力传感器的基准压力腔。本发明的用于相对于基准压力获取测量压力的相对压力传感器包括一个基准压力路径(23)，它在可以受到基准压力的表面和基准压力腔(22)中的开口之间延伸；一个过滤器元件(30)，它设置在基准压力路径中，该过滤器元件包括疏水毫微孔材料。由于过滤器元件可以渗透N₂和O₂，因此该过滤器元件允许压力补偿，同时阻挡水分子。毫微孔材料优选地包括无机材料，特别是Al₂O₃、TiO₂或SiO₂。毫微孔材料优选地疏水和/或可以和优选地为硅烷的疏水层浸渍，以便最优化疏水性能。

主权项

1.一种用于相对于基准压力获取测量压力的相对压力传感器，包括：传感器元件，具有一个基体，和一个测量膜片，沿其边缘区域以密闭方式连接于基体，从而形成一个基准压力腔，该测量膜片具有第一膜片表面和第二膜片表面，第一膜片表面远离基准压力腔并可以受到测量压力，第二膜片表面面对基准压力腔；基准压力路径，在可以受到基准压力的表面和基准压力腔中的开口之间延伸，从而第二膜片表面可以受到基准压力；以及过滤器元件，设置在基准压力路径中；其中过滤器元件包括疏水的毫微孔材料。