[发明专利]薄膜的制造方法及带有该薄膜的灯泡

摘要

一种薄膜的制造方法，在灯泡或放电灯等光源的外壳表面上形成光学薄膜时，在旋转椭圆体形状的基体上形成界面或表面粗糙少的薄膜。在成膜装置的真空室(4)内，在以旋转轴为中心进行自转的旋转椭圆体基体(2)上按照溅射法形成薄膜时，通过气体压力为0.04～5.0Pa，或作为溅射气体，使用Ar气体和N₂气体的混合气体，按Ar气体为100时N₂气体为1～6来设定其分压比，或使用Ar气体和O₂气体的混合气体，按Ar气体为100时O₂气体为6来设定其分压比，薄膜形成开始时的输入功率在整个溅射处理中最大，或者在覆盖体基体上施加负偏压，从而使薄膜的截面或表面的粗糙少，减小膜厚分布。

主权项

1.一种薄膜的制造方法，用于在包含旋转椭圆体形状的基体上形成薄膜，其特征在于，以所述旋转椭圆体轴为中心进行旋转，同时在气体压力为0.04Pa以上、5.0Pa以下的范围内进行溅射。