[发明专利]流体介质粒子隔离系统无效
申请号: | 01817029.3 | 申请日: | 2001-06-22 |
公开(公告)号: | CN1468133A | 公开(公告)日: | 2004-01-14 |
发明(设计)人: | 保罗·S·惠伦 | 申请(专利权)人: | 英特贝自动化有限公司 |
主分类号: | B01D45/00 | 分类号: | B01D45/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘兴鹏 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种流体介质粒子隔离系统(20),所述系统具有一形成于一对壁面(22,28)之间且具有一入口以及一出口的曲折通道(25)。所述入口对一干净区域(14)敞开,同时出口对一受到污染区域(18)敞开。所述壁面(22,28)包括形成曲折通道(25)并将其分隔成多个腔室(23)的隔板(26)。一个具有多个打开的单元(33-42)并且为一活塞结构(31)的推进器(30)位于曲折通道(25)中,并且具有一个平行于壁面(22,28)的运动轴线(31)。每一单元(42)形成一个将在低压情形下的流体介质从干净区域(14)输送至受到污染区域(18)的腔室,从而防止在受到污染区域(18)产生的粒子进入干净区域(14)。每一单元包括四个壁面(43,44,45,46),同时每一单元具有一个底表面(48),该底表面被成形以便为流体介质从一单元通过出口(56)流向下一单元提供一过渡(50)。 | ||
搜索关键词: | 流体 介质 粒子 隔离 系统 | ||
【主权项】:
1、一种流体介质粒子隔离系统,包括:一个曲折通道,所述曲折通道由多个腔室形成,所述腔室的一侧对干净的流体介质区域开放,另一侧对受到污染的流体介质区域开放;一个推进器装置,用于将干净的流体介质从所述干净的流体区域抽吸并通过所述曲折通道将所述流体强行导入所述受到污染的流体介质区域;所述推进器包括多个单元,所述多个单元在所述曲折通道的每一腔内构成腔室,所述每个腔室和在相邻腔内的相邻腔室互连,从而使得所述流体流过所述曲折通道;所述推进器安装于一移动的平台上,以便于在所述多个腔中往复移动;从而流体介质从所述干净的流体介质区域被输送到所述受到污染的流体介质区域,因此将干净的流体介质区域与污染粒子隔离。
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