[发明专利]超声波振动方法与超声波振动装置无效
申请号: | 01806660.7 | 申请日: | 2001-11-19 |
公开(公告)号: | CN1418134A | 公开(公告)日: | 2003-05-14 |
发明(设计)人: | 富永守雄;岩桥真司 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | B06B1/02 | 分类号: | B06B1/02;H01L21/60 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨凯,叶恺东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及在振动方向上无方向性的超声波振动方法与超声波振动装置。端部分别设有超声波振动器(13)、(14)的一对超声波传输臂(11)、(12)相互垂直交叉地设置,使该对超声波传输臂(11)、(12)发生纵向振动时导致另一传输臂(12)、(11)发生横向振动,在该对传输臂(11)、(12)的交叉位置处取出该横向振动的合成振动,经由按压头(22)加到被接合件上。 | ||
搜索关键词: | 超声波 振动 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种超声波振动方法,其特征在于:将一对超声波传输臂相互交叉地结合,使一个超声波传输臂在其长度方向上纵向振动而造成另一个超声波传输臂发生横向振动,同时使所述另一个超声波传输臂在其长度方向上发生纵向振动而造成所述一个超声波传输臂横向振动,从而在所述一对超声波传输臂的交叉结合位置处产生的一时超声波传输臂横向振动的合成振动,作为输出使用。
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