[发明专利]真空压接DVD－基片的装置

摘要

本发明涉及用于真空压接圆片形基片，尤其是DVD－基片的装置。该装置包括一个真室室，在其中设置有用于A－基片的第一基片支架(A－基片支架)(9)和用于第二基片的第二基片支架(B－基片支架)(10)。本发明的特征在于，存在一个可在真空室中移动并在其四周配置有密封装置的中间件(9)，它划分真空室为连接真空泵的第一室(低压室)(20)和可选地和交替地连接一个压缩空气源(21)和/或连接一个真空泵(24)的第二室(19)。在低压室侧面上的中间件被设计为第一基片支架(A－基片支架)，同时在真空室中面对着A－基片支架设置第二基片支架(B－基片支架)。

主权项

1.真空压接圆片形基片，尤其是DVD-基片的装置，它具有一个真空室，用于A-基片的第一基片支架(A-基片支架)和用于B-基片的第二基片支架(B-基片支架)，它们位于真空室中，并且具有用于在至少一个基片支架上产生压力的装置，其特征在于，存在一个可在真空室中移动并在其四周配置有密封装置的中间件，它划分真空室为连接真空泵的第一室(低压室)和连接压缩空气源的第二室(高压室)，中间件在低压室侧面上被设计为第一基片支架(A-基片支架)，而低压室的与A-基片相对的一侧设置第二基片支架(B-基片支架)。