[发明专利]激光加工装置和激光加工用掩模及其制造方法无效
| 申请号： | 01804255.4 | 申请日： | 2001-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN1396851A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 浜田史郎 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 郭煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 掩模10由具有激光加工用的加工图案的金属材料构成的掩模部件层12和从上、下两面把掩模部件层夹持的激光透过材料构成的第1、第2基板部件11、13构成。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 工用 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种激光加工用掩模，具有预定的加工图案，其特征在于，由具有所述加工图案的激光反射材料所成的掩模部件与从上下两面把此掩模部件夹持的激光透过材料所成的基板部件形成所述掩模。
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