[实用新型]有机电致发光显示面板铟锡氧化物电极的电化学蚀刻平坦化装置无效
| 申请号： | 01232335.7 | 申请日： | 2001-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN2492564Y | 公开（公告）日： | 2002-05-22 |
| 发明（设计）人： | 卢添荣;张毅 | 申请（专利权）人： | 铼宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/14 | 分类号： | C25F3/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本设计提供一种电化学蚀刻平坦化装置,用来针对一有机电致发光元件的铟锡氧化物(ITO)电极层进行一电化学蚀刻平坦化装置,其包含有一电化学刻蚀单元,用来提供一电化学蚀刻液以使其均匀分布于有机电致发光显示面板ITO电极层表面上,一清洗单元,用来喷洒一清洗溶液以移除残留的电化学蚀刻液,一传送单元,以连续传送的方式将有机电致发光显示板面依序传送至电化学蚀刻平坦化单元以及清洗单元中,以及一控制单元,用来控制传送单元顺序与传送时间,以精确控制有机电致发光显示面板于每一个单元中的处理时间。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 显示 面板 氧化物 电极 电化学 蚀刻 平坦 化装 | ||
【主权项】：
1、一种有机电致发光显示面板铟锡氧化物电极的电化学蚀刻平坦化装置，包括：一电化学蚀刻单元，用来提供一电化学蚀刻液，以使该电化学蚀刻液均匀分布在一有机电致发光显示面板表面上，其将有机电致发光显示面板浸置于电化学蚀刻中或喷洒电化学蚀刻液于该有机电致发光显示面板，并接通电流使电流通过有机电致发光显示面板表面上的铟锡氧化物电极；一清洗单元，与该最后端电化学蚀刻单元连接，用来喷洒一循环清洗液或新鲜清洗液，以移除该有机电致发光显示面板上所残留的电化学蚀刻液；一传送单元，分别与该复数个电化学蚀刻单元、该清洗单元相连接，并以连续传送的方式将该有机电致发光显示面板依序传送至该复数个电化学蚀刻单元以及该清洗单元中；以及一控制单元，用来控制该传送单元的传送方式与传送时间，以精确地控制该有机电致发光显示面板于每一个单元中的处理时间的；
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