[实用新型]基板气浮式载台无效
| 申请号： | 01223226.2 | 申请日： | 2001-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN2480870Y | 公开（公告）日： | 2002-03-06 |
| 发明（设计）人： | 罗思湧 | 申请（专利权）人： | 扬博企业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型是关于一种基板气浮式载台,其主要是于台体顶面凹设形成有一凹部,并设置有多数个连通至凹部的真空抽孔及注气孔,另设置有一与凹部连通的气压感测器,借此,可减少工作件与载台间的接触面积,以防止工作件与载台间静电的产生,同时亦可透过气压感测器来检测及控制,载台抽真空及破真空作业时气压的稳定性,而可借此达到提高气浮式载台整体使用效能的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 基板气浮式载台 | ||
【主权项】：
1.一种基板气浮式载台，其特征在于，其主要是设置有一台体，于台体顶面中央凹设形成有一凹部，而于台体顶面周缘形成有一承托缘，又于台体上设置有多数个与凹部连通的真空抽孔及注气孔，并设置有一与各真空抽孔连通的一真空泵，以及一与各注气孔连接的注气泵，另外于台体底部设置有一可相对台体升降移动的升降机构，于升降机构上设置有多数个贯穿台体的顶针，而于台体上则设置有多数个贯穿承托缘，供各顶针由其中贯穿的顶针孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬博企业股份有限公司，未经扬博企业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01223226.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种伸缩式多门新型蚊帐
- 下一篇：多功能吸痰机
