[实用新型]微型可调谐红外滤光器

摘要

本实用新型属于微光学器件,包括衬底、光栅固定端、光栅主体、光栅滑动端、驱动器、驱动器引线、驱动器电极、线圈、空气隙、铁芯,用准LIGA技术工艺简化、低成本、效率高;用典型的三维微细加工技术将可调谐光栅与驱动器集成制作在同一衬底上,不需装配对准,便于制成微光电机械系统芯片;本实用新型提供微型可调谐红外滤光器,可用于微重量测试的电子秤、压力传感器、加速度传感器、应变/温度测试仪及位移传感器等。可用于遥感探测、太阳光谱、热辐射探测、空间科学、环境科学、光纤通信等领域。

主权项

1、微型可调谐红外滤光器，包括光栅固定端(2)、光栅主体(3)、光栅滑动端(4)，其特征在于：在衬底(1)的上表面集成制备有光栅固定端(2)、光栅主体(3)、光栅滑动端(4)、驱动器(5)、驱动器引线(6)、(7)、驱动器电极(8)、(9)、线圈(10)、空气隙(11)、铁芯(12)，光栅主体(3)的两端分别与光栅固定端(2)的一端及光栅滑动端(4)的一端相连接，光栅滑动端(4)的另一端部分插入驱动器(5)的开口端，衬底(1)作为可调谐光栅及驱动器(5)的支撑体位于二者的正下方，衬底(1)的上表面与光栅固定端(2)的下表面及驱动器(5)的下表面固定连接，在衬底(1)本体上制备有空气隙(11)，光栅主体(3)置于空气隙(11)的上方，驱动器引线(6)(7)及电极(8)(9)位于衬底(1)的上表面，光栅滑动端(4)与衬底(1)间为可滑动接触连接，光栅主体(3)与衬底(1)间为非接触，驱动器(5)中的线圈(10)绕制在铁芯(12)周围。