[实用新型]废气处理槽的清除装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体废气处理设备中废气处理槽的清除装置,该装置包括有一主体,并在该主体上设置有一可受传动机构控制作360度旋转的清洁机构和一可调整清洁机构转速及扭力的传动机构,并配合一气压冷却机构来传递输送冷却气体,以清除清洁机构在清除废气处理槽内的附着物,传动机构由于阻力而引起过热现象,同时,维持清洁机构的正常工作效率,防止因废气处理槽内壁上的附着物积叠过多时影响半导体的制造作业。

主权项

1.一种废气处理槽的清除装置，包括有一主体，在该主体上设置有一清洁机构和一传动机构，其特征在于：所述主体是在一圆形框座上设置有一上盖板和一下盖板，在该圆形框座内部开设有供冷却气体流通的通道和可容置齿盘旋转的空间；所述清洁机构是在一圆框形转盘上等间距地环绕设置有一只或多只刮刀，该刮刀的刀锋紧贴于废气处理槽的内壁，该转盘设置于一齿盘上，而齿盘枢设于上述圆形框座内；所述传动机构设置于所述圆形框座的一侧，其利用一伺服马达来驱动一蜗杆，该蜗杆与传动齿轮啮合，而传动齿轮与清洁机构内的齿盘啮合。