[实用新型]CCD显微成像的光纤及光纤器件几何量检测仪

摘要

CCD显微成像的光纤及光纤器件几何量检测仪,在显微物镜的上方装有能作五维调节的部件,被测件用装夹部件夹紧后,装在能作五维调节的部件中;在显微物镜的下方依次装有同轴光耦合镜、CCD面阵;同轴光耦合镜的一侧装有光源准直镜及光源;在显微物镜与能作五维调节的部件之间装有干涉分光镜,在干涉分光镜的一侧装有标准样板。它可检测光纤及光纤器件的几何形状,端面的质量。采用干涉条纹可测量面形情况,可显示或打印出结果。

主权项

1．CCD显微成像的光纤及光纤器件几何量检测仪，其特征在于：仪器中装有一组放大倍率可选用的显微物镜[4]，在显微物镜[4]的上方装有能作五维调节的部件[3]，被测件[1]用装夹部件[2]夹紧后，装在能作五维调节的部件[3]中；在显微物镜[4]的下方依次装有同轴光耦合镜[5]、CCD面阵[8]；同轴光耦合镜[5]的一侧装有光源准直镜[6]及光源[7]。