[发明专利]管靶的制造方法有效
| 申请号： | 01143725.1 | 申请日： | 2001-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1363716A | 公开（公告）日： | 2002-08-14 |
| 发明（设计）人： | R·赫克;R·于特纳;D·卢普顿;E·迈尔;P·麦恩茨;H·曼哈德特;B·施滕格;H·青格 | 申请（专利权）人： | W.C.贺利氏股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D19/16;B22D27/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军,赵辛 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及阴极溅射设备的管靶的一种制造方法,该管靶由一个金属内管和一个同心包围该内管的金属外管组成。其中该内管用具有第一熔点TS1≥900K的第一种材料,而该外管则用具有第二熔点TS2≤800K的第二种材料制成,且该外管的内直径与该内管的外直径以形状相合的方式进行机械的固定连接。按照本发明,把熔融状态的第二种材料浇入一个圆筒形的、加热的竖放铸模中来制成外管,其中该铸模具有一根加热棒,该加热棒由该内管组成;在铸模和内管之间的空腔用熔融状态的第二种材料注满后在内管和铸模之间产生第一温度梯度;在铸模的上侧和下侧之间产生第二温度梯度;同时外管从里向外和从下向上进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阴极溅射设备的管靶的制造方法，其中该管靶由一个金属内管和一个同心包围该内管的金属外管组成，该内管用具有第一熔点TS1≥900K的第一种材料，而该外管则用具有第二熔点TS2≤800K的第二种材料制成，且该外管的内直径与该内管的外直径以形状相合的方式进行机械的固定连接，其特征为：该外管通过第二种材料在熔融状态下浇入一个竖放的、加热的圆筒形铸模中来形成，该铸模具有一根加热的棒，该棒由该内管构成；在用熔融的第二种材料注满该铸模和内管之间的空腔后，在该内管和铸模之间产生第一温度梯度；在铸模的上侧和下侧之间产生第二温度梯度；该外管同时从内向外和从下向上进行冷却。
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