[发明专利]光存储材料存储特征静态测试装置无效
| 申请号: | 01126359.8 | 申请日: | 2001-07-27 |
| 公开(公告)号: | CN1155947C | 公开(公告)日: | 2004-06-30 |
| 发明(设计)人: | 徐文东;干福熹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G11B7/00 | 分类号: | G11B7/00;G11B7/26;G11B20/18 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
| 地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 一种光存储材料存储特征静态测试装置,主要适用各种光盘记录层材料存储特征的测试。包括测试光源部分、测试显示部分、光束写入读出部分、调整被测位置部分、监视显示部分和监视光源。其中光束写入读出部分是置于被测样品的被测记录层表面之上,有高数值孔径物镜与半球形固体浸润透镜结合为更高数值孔径的显微物镜。所以本发明比在先技术的测试装置分辨率高、测量精度高。更换高数值孔径物镜和半球形固体浸润透镜方便,调节被测样品的位置也方便。本发明中有监视显示部分和监视光源。可以直观地监视调焦过程,并直接观察记录光斑和记录点的形貌,使装置测试直观而操作方便,提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词: | 存储 材料 特征 静态 测试 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光存储材料存储特征静态测试装置,包括<1>测试光源部分:含有沿着激光器(6)发射光束(G)前进方向的光轴(oo)上依次置有声光调制器(7)、扩束组件(8)、立方偏光棱镜(9)、四分之一波片(10)和分光镜(11),分光镜(11)的分光面与光轴(oo)成45°角放置;<2>测试显示部分:含有置于通过立方偏光棱镜(9)分光面的中心点且垂直于激光器(6)发射光束(G)光轴(oo)的第一条垂直线(o1o1)上的会聚透镜(12)和光电探测器(14),光电探测器(14)的输出通过电子控制箱(22)连接到带有显示器(24)的计算机(23)上;其特征是:<3>光束写入读出部分:包括在穿过分光镜(11)中心点(Oo)的垂直于激光器(6)发射光束(G)光轴(oo)的第二条垂直线(o2o2)上,分光镜(11)反射光束(G1)前进的方向上置有数值孔径>0.8的物镜(13)和半球形固体浸润透镜(15),半球形固体浸润透镜(15)的球面向着所述物镜(13),所述物镜(13)的焦点落在半球形固体浸润透镜(15)平面的中心点上;<4>调整被测位置部分:包括被测样品(16)放置在内部装有第一限位开关(18)和第二限位开关(20)的一维平移台(19)上,被测样品(16)的被测记录层表面与半球形浸润透镜(15)的平面接触,一维平移台(19)置于三维平台(21)上,一维平移台(19)连接有步进电机(17),步进电机(17)、第一限位开关(18)和第二限位开关(20)通过电子控制箱(22)与计算机(23)相连;<5>有监视显示部分:包括在上述激光器(6)发射光束(G)光轴(oo)的第二条垂直线(o2o2)上,在分光镜(11)反射光束(G1)前进方向的反方向上,由分光镜(11)开始依次置有半反半透分光镜(4)、镜筒透镜(3)和带有监视器(2)的摄像机(1),镜筒透镜(3)的焦点恰好落在摄像机(1)的接收面(101)上,半反半透分光镜(4)的分光面与第二条垂直线(o2o2)成45°角放置;<6>有监视光源是白光光源(5),白光光源(5)光轴(o3o3)与穿过半反半透分光镜(4)中心点垂直于第二条垂直线(o2o2)的垂直线(o3o3)重合,它包括自半反半透分光镜(4)至白炽灯(505)之间的白光光源(5)光轴(o3o3)上依次置有照明透镜(501)、孔径光阑(502)、视场光阑(503)和聚焦透镜(504)。
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