[发明专利]集成电路测试装置的定时校正方法及其装置无效
申请号: | 01116843.9 | 申请日: | 2001-02-16 |
公开(公告)号: | CN1370997A | 公开(公告)日: | 2002-09-25 |
发明(设计)人: | 冈安俊幸;关信介 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱德万测试 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 宋军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种IC测试装置的定时校正精度高、廉价完成的定时校正方法,设有探针(300),可以接触安装被测试IC的IC插座(203)的各个管脚、取出提供给各个管脚的信号并向各个管脚提供校正脉冲,通过IC测试装置具有的定时计测功能来计测该探针内设置的基准比较器(CP-RF)取出的校正脉冲的定时和从探针内设置的基准驱动器(DR-RF)向IC插座施加的基准校正脉冲的定时,进行定时校正。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 测试 装置 定时 校正 方法 及其 | ||
【主权项】:
1.一种使用具有基准比较器的探针的IC测试装置的定时校正方法,包括下面的步骤:(a)上述探针从外部顺序选择地接触IC插座的各个管脚;(b)从上述IC测试装置的驱动器向上述IC插座的各个管脚施加校正脉冲;(c)以提供给上述基准比较器的基准选通脉冲的定时得到由上述探针的上述基本比较器从上述驱动器向各个管脚施加的上述校正脉冲;(d)求上述校正脉冲的定时和上述基准选通脉冲的定时的偏差;(e)调整上述驱动器的各个信号路径上设置的可变延迟电路的延迟时间,使得上述偏差作为预定的值。
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