[发明专利]缸操作式复合阀无效
| 申请号： | 01116785.8 | 申请日： | 2001-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1472458A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 桜井丰信 | 申请（专利权）人： | 速睦喜股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12;F16K31/122 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 韩登营 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 得到一种对单元基板的安装简单而安装空间也可以很小，排放气体的置换特性上也有优势的缸操作式复合阀。把由通过膜片阀(14)的位移来开关流体流路(12a)的阀机构部(4A、4B)，和靠多个活塞(24)所连接的阀棒(25)来开关操作上述膜片阀(14)的缸操作部(5A、5B)组成的两组控制阀(2A、2B)装入相互结合的一组壳体(7、8)内，借此实现整体化，把上述控制阀(2A、2B)彼此连接起来的流路(12b、12b)设在上述壳体(7)的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 复合 | ||
【主权项】：
1.一种缸操作式复合阀，是把由通过膜片阀的位移来开关流体流路的阀机构部，和开关操作上述膜片阀的缸操作部组成的两组控制阀相互整体化的复合阀，其特征在于，上述各阀机构部分别包括设在上述流体流路的中间部分的阀座，接触离开该阀座而开关上述流路的，赋予从该阀座分离方向的弹性力的上述膜片阀，以及设置这些阀座和膜片阀的阀孔，两组阀机构部装入一个阀体内，并且连接这两组阀机构部的流体流路设在该阀体的内部，上述各缸操作部分别包括靠进入上述阀孔内的前端部分使上述膜片阀开关的前进后退自如的阀棒，安装在该阀棒上的多个活塞，在各活塞的某一方的受压面一侧形成的压力室，把压力流体供给到这些各压力室用的操作口，连接该操作口和上述各压力室的连通孔，以及在上述膜片阀归座于阀座的关闭时产生该膜片阀的归座力的阀弹簧，把两组缸操作部装入结合于上述阀体的一个缸体内。
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