[发明专利]压电式流体控制阀

摘要

一种常开型压电型式流体控制阀，在受到开阀方向的弹性力作用的隔膜阀11与阀簧机构25之间配置通过加电压而伸长的压电元件层压体20，使该压电元件层压体20伸长时的应变量a比隔膜阀11的开闭行程b大，并根据其差c使弹簧座28离开第2限动部30地设定，这样，当上述压电元件层压体20伸长而使隔膜阀11进入到阀座10时，上述阀簧29受到压缩，其弹性力通过压电元件层压体20作用于上述隔膜阀11，由该弹性力将隔膜阀11推压在阀座10。这样，可通过将压电元件层压体的伸长力变换成弹簧的弹性力而以该弹簧力获得闭阀力，并使耐久性优良。

主权项

1.一种压电式流体控制阀，其特征在于：具有由隔膜阀的位移开闭流体流路的阀机构部和开闭上述隔膜阀的压电式操作部；上述阀机构部在第1阀壳内具有上述流体流路、设于该流体流路中间的阀座、通过接离该阀座而开闭上述流体流路并被赋予离开该阀座的方向的弹性力的上述隔膜阀、及接触在该隔膜阀背面并一起朝开闭方向移动的推压件；上述压电式操作部在与上述第1阀壳接合的第2阀壳内具有通过加电压而伸长的压电元件层压体、配置在该压电元件层压体一端侧的用于将该压电元件层压体的伸长力传递到上述推压件以使隔膜阀进入到阀座的第1构件、可自由移动地配置在上述压电元件层压体另一端侧的第2构件、在上述压电元件层压体伸长时与该第2构件一起位移的弹簧座、及由该弹簧座的位移产生弹性变形从而对上述压电元件层压体成为反弹状态的阀簧；上述压电元件层压体伸长时的应变量设定为这样的大小，由该大小，在压下上述推压件使隔膜阀进入到阀座的同时，可朝相反方向推压上述弹簧座使阀簧弹性变形。