[发明专利]基于特定应用事件的半导体测试系统无效
| 申请号： | 01116611.8 | 申请日： | 2001-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN1323990A | 公开（公告）日： | 2001-11-28 |
| 发明（设计）人： | 菅森茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社鼎新 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于测试半导体设备的半导体测试系统,尤其是具有在主机架内的多个不同类型的测试器模块和在测试固定装置内对于被测器件是唯一的测量模块的半导体测试系统,是一种低费用、应用特定的系统。该测试系统包括两个或更多其性能彼此不同的测试器模块,用于容纳两个或更多测试器组合的主机架,设置在机架上电气连接测试器和被测器件的测试固定装置以及在测试固定装置内用于转换被测器件与测试器间信号的测量设备以及一个控制系统整体运行的主机。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 特定 应用 事件 半导体 测试 系统 | ||
【主权项】：
1．一种半导体测试系统，包括：两个或多个其性能彼此相同或不同的测试器模块；用于容纳其中的测试器模块的任意组合的测试系统主机架；设置在该测试系统主机架上、用于电气地连接该测试器模块和被测器件的测试固定装置；设置在该测试固定装置内、用于根据被测器件的功能转换该被测器件与测试器模块之间的信号的测量模块；以及主机计算机，通过一个测试器总线与该测试系统内的测试器模块进行通信来用于控制该测试系统的整体运行。
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