[发明专利]一种大气压放电表面等离子体源无效
申请号: | 01109211.4 | 申请日: | 2001-02-28 |
公开(公告)号: | CN1128570C | 公开(公告)日: | 2003-11-19 |
发明(设计)人: | 葛袁静;张广秋;赵志发 | 申请(专利权)人: | 北京印刷学院 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 北京同汇友专利事务所 | 代理人: | 高云瑞,绳立成 |
地址: | 102600 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种大气压放电表面等离子体源,属于等离子体科技领域,具有脉冲电源(1)、板状电极(2)及覆盖其上的电介质(3)和具有空间间距相互隔开的另一个电极,电介质(3)与另一个电极之间的空间内有工作气体(5),特征在于:另一个电极为裸露的网状电极(4);有益之处在于:能在其裸露的网状电极(4)的外侧面,产生稳定、均匀的表面等离子体(8),且表面等离子体(8)的形状可以随电极形状而变化。能进一步拓宽等离子体技术的应用范围,提高其应用效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 大气压 放电 表面 等离子体 | ||
【主权项】:
1、一种大气压放电表面等离子体源,具有脉冲电源(1)、板状电极(2)及复盖其上的电介质(3)和具有空间间距相互隔开的另一个电极,两个电极之间的空间内有工作气体(5),其特征在于:另一个电极为裸露的网状电极(4),网状电极(4)上具有均匀密布且孔径相同的网孔(7),在电介质(3)与网状电极(4)之间的空间内有等离子体(6),在网状电极(4)的外侧面有均匀的表面等离子体(8),且表面等离子体(8)的形状可以随电极形状而变化。
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