[发明专利]拉晶机用的热屏蔽装置

摘要

一种拉晶机用的热屏蔽装置,其具有一内反射罩和一外反射罩。内外反射罩相互间隔开并具有减小的相互接触的表面积。一生长单晶棒的改善了的热屏蔽减少其缺陷并且可以使由拉晶机生产的单晶棒有较大的产量。

主权项

1.一种用于生产单晶棒的拉晶机，该拉晶机包括：一坩埚用以容纳熔融的半导体原材料，一热连通坩埚的加热器用以将坩埚加热到足以熔化由坩埚容纳的半导体原材料的温度；一设置在坩埚上方的拉出机构用以从由坩埚容纳的熔融的材料中拉出单晶棒；以及一设置在由坩埚容纳的熔融的原材料的上方的热屏蔽装置，该热屏蔽装置具有一中心开口，其尺寸和形状确定成使其在从熔融的材料中拉出所述单晶棒时围绕着该棒，该热屏蔽装置在从拉晶机内的原材料中向上拉出该棒时总体上插在该棒与坩埚之间，该热屏包括一外反射罩和一内反射罩，各反射罩成形为限定一容纳绝热材料的绝热腔，内反射罩支承在拉晶机中与外反射罩和沿内反射罩的至少一部分的绝热材料总体上成间隔开的关系以阻止从外反射罩和绝热材料向内反射罩的热传导使得在拉晶机操作的过程中内反射罩间隔开的部分显著地冷于外反射罩。