[发明专利]衬底升降机构无效
| 申请号： | 00802967.9 | 申请日： | 2000-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1160233C | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | P·阿本舍恩;S·赫尔曼 | 申请（专利权）人： | 施蒂格哈马技术股份公司 |
| 主分类号： | B65H1/14 | 分类号： | B65H1/14;B23Q7/10;B23Q7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;赵辛 |
| 地址： | 德国斯台*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底升降机构。为了使带有夹具(10)的衬底升降机构(2)实现尽可能简单地心轴转换，夹具这样构成，通过旋转或摆动夹具(10)，可以该夹具(10)与衬底支架(25)啮合，通过衬底支架(25)的运动起到使夹具(10)旋转或摆动的作用。由此减少了成本，提高了机构的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 升降 机构 | ||
【主权项】：
1.用于衬底的升降机构(2)，带有一个夹具(10)，其特征为，通过旋转或摆动夹具(10)，可以该夹具(10)与衬底支架(25)啮合，通过衬底支架(25)的运动起到使夹具(10)旋转或摆动的作用。
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