[实用新型]一种微构件摩擦力测试仪

摘要

本实用新型涉及一种对微机械构件进行摩擦力测量仪器的改进。它包括减振工作台、摩擦力测试主体、光学显微镜及CCD系统、监视器、控制系统。本实用新型由于采用独特微悬臂和微探针进行测量,使微加工样片表面三维结构下的摩擦力得到真实反映,同时可以针对不同材料样片选用不同的微探针。由于微构件表面是由一定三维图形组成的立体结构,本实用新型对于在此种条件下的摩擦力测量提供一种简易而方便的解决办法,消除了由于微构件表面复杂三维结构而对摩擦力测量过程产生的影响,从而提供一种新型的微构件摩擦力测试仪。

主权项

1、一种微构件摩擦力测试仪，它包括减振工作台1、光学显微镜及CCD系统3、监视器4、控制系统5，其特征在于：还包括垂直摩擦力测试主体2：既由逼近系统6、X和Y方向粗调机构7、X和Y方向精密扫描机构8、样片承载机构9、光电接收器调节机构10、光电接收器11、二级反射镜12、一级反射镜13、激光器14、入射光调整机构15、悬臂梁支架16，微悬臂17、微探针18组成，垂直逼近系统6中固定一个步进电机，X和Y方向粗调机构7置于垂直逼近系统6的上表面，X和Y方向粗调机构7的上面由四个螺孔通过螺栓与X和Y方向精密扫描机构8联接在一起，样片承载片9与X和Y方向精密扫描机构8本体磁性联接在一起，微悬臂17的本体上制备有微探针18，微悬臂17与悬臂梁支架16通过粘性材料粘贴在一起，光电接收器11、二级反射镜12、一级反射镜13、激光器14分别固定在壳体19上，反射镜13置于保证激光器14发出的激光光束射到微悬臂17一端部的上表面上，反射镜12置于保证微悬臂17反射的光束进入探测器11的接收面上，光电接收器调节机构10、光电接收器11、激光器14与入射光调整机构15分别通过螺栓联接在一起。