[实用新型]高精度键合装置无效
| 申请号： | 00244712.6 | 申请日： | 2000-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN2447172Y | 公开（公告）日： | 2001-09-12 |
| 发明（设计）人： | 宗德蓉;罗斌;宫杰;林明毓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | B32B31/04 | 分类号： | B32B31/04 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 高精度键合装置，属于对高真空镀膜设备中声光器件换能器键合装置的改进，其特征是由电机、连接套筒及螺杆，控制与螺杆连接的压头沿精密导轨上下滑动，并有行程开关。具有工件对准精度高，速度快，工件加工压力均匀一致，无手工调节，自动控制等优点，能制作高性能的声光器件。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 装置 | ||
【主权项】：
1、高精度键合装置，连接螺杆(7)的压头(4)对固定在其端面上的声光互作用介质(3)与工作台(14)上的压电换能片(13)压合，其特征在于由电机(9)连接套筒(8)及螺杆(7)，控制与螺杆(7)连接的压头(4)沿精密导轨(2)上下滑动，并有限制上下行程的限位开关(10)、(1)。
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