[实用新型]用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构无效
| 申请号： | 00231331.6 | 申请日： | 2000-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN2412341Y | 公开（公告）日： | 2000-12-27 |
| 发明（设计）人： | 任天令;张林涛;李志坚;刘理天 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H04R7/04 | 分类号： | H04R7/04 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构,该结构依次由硅衬底、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、顶层Pt/Ti电极相互排列而成,所述的氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、顶层Pt/Ti电极排列而成的薄层,从硅衬底上伸出,形成悬臂结构。采用本实用新型制备的悬臂式振膜结构,集成微麦克风和扬声器,其灵敏度和声输出有了明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 麦克风 扬声器 悬臂 膜结构 | ||
【主权项】：
1、一种用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构，其特征在于，该结构依次由：硅衬底、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、顶层Pt/Ti电极相互排列而成，所述的氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、顶层Pt/Ti电极排列而成的薄层，从硅衬底上伸出，形成长度为1000～2000μm的悬臂结构。
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