[实用新型]激光非接触式表面粗糙度与位移测量装置无效
申请号: | 00222893.9 | 申请日: | 2000-04-26 |
公开(公告)号: | CN2427793Y | 公开(公告)日: | 2001-04-25 |
发明(设计)人: | 伏德贵 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 四川科学城专利事务所 | 代理人: | 何勇盛,阮甫全 |
地址: | 621900 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种激光非接触式表面粗糙度与位移测量装置。它由激光源、计算机系统、测量头架、入射光纤部分、接收反射光纤部分、面阵CCD摄像机、图像卡等组成,通过测量从被测工件表面反射回来的散射光能的分布确定被测工件表面粗糙度与位移值。既能测量平面工件,还可测量曲面工件。 | ||
搜索关键词: | 激光 接触 表面 粗糙 位移 测量 装置 | ||
【主权项】:
1、一种激光非接触式表面粗糙度与位移测量装置,含有激光源、计算机系统、测量头架、入射光纤部分、接收反射光纤部分、面阵CCD摄像机、图像卡,其特征在于:激光器(1)产生的激光束经入射光纤部分的耦合光纤(2)、自聚焦光纤(4)后以一定角度入射到被测工件表面;反射光能分布由接收反射光纤部分的聚脂成像屏5、摄像物镜(6)、传像光纤束(7)、转像物镜(8)接收输出至面阵CCD摄像机(9),再经过图像卡(10)采集到计算机(11)处理。
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