[实用新型]一种用于真空蒸镀的样品支架无效
| 申请号： | 00218165.7 | 申请日： | 2000-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN2428490Y | 公开（公告）日： | 2001-05-02 |
| 发明（设计）人： | 侯晓远;何钧;吕明;邓振波;廖良生;周翔;熊祖洪;张松涛;何劲;钟高余 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 复旦大学专利事务所 | 代理人： | 姚静芳 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种适用于真空蒸镀的样品支架的设计。以往的真空沉积设备的设计中,掩模和样品托之间都有一点距离,使得真正得到的薄膜的形状并不是所设计的形状。本实用新型设计了一套样品支架,包括样品托、样品架和样品叉,其独特简捷的结构配合使用使得掩模和样品托之间的距离减少到零。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 样品 支架 | ||
【主权项】：
1．一种用于真空蒸镀的样品支架，有样品托、样品架和样品叉，其特征是样品托方形有耳(1)，左、右侧面和后侧面封实(2)，上、下面和前侧面是敞开的，其底部从封实的左右侧分别延伸有两个台阶(3)；样品架两侧(4)宽度与样品托左右侧宽度一致，其底部(5)相连，在样品架两侧内有相隔一定间距的两对台阶(6)；样品叉是两根平行杆(7)，上有两对凸起叉头(8)，两对凸起叉头间距与样品托左侧和右侧宽度一致。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00218165.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：粘胶长丝生产浆粥压力控制器
- 下一篇：竹材、塑料复合胶合板
- 同类专利
- 专利分类
