[发明专利]微波等离子体源有效
| 申请号： | 00136262.3 | 申请日： | 2000-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1140161C | 公开（公告）日： | 2004-02-25 |
| 发明（设计）人： | 武洪臣 | 申请（专利权）人： | 北京航空工艺研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子注入表面改性、等离子增强沉积及离子氮化的等离子体源。采用真空弯波导，在线圈内腔与波导之间的空间里填充铁芯，并在线圈波导一侧的端头加装铁芯盖，以及线圈外围排置导磁条，以形成开口朝向真空室的磁路。由于使用了真空弯波导，从结构上避免了窗口受高能离子轰击以及沉积膜层的现象，窗口工作时间由原来的3-4小时提高到可长期连续工作基本不沉积；铁芯和磁路的使用，大大降低了线圈的工作电流，线圈的发热大约减小为原来的1/4。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体源，是由真空弯波导、石英窗口、谐振腔组成的，其特征是，石英窗口远离真空室及工艺区，放电发生在谐振腔一侧；在线圈内腔与波导之间的空间里填充铁芯，并在线圈波导一侧的端头加装铁芯盖，以堵住向外扩散的磁力线，在线圈外围排置导磁条，以形成开口朝向真空室的磁路。
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