专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]制造方法和半导体器件-CN201310449687.2在审
  • J.E.比彻;W.J.墨菲;J.S.纳科斯;B.W.波思 - 国际商业机器公司
  • 2013-09-27 - 2014-04-02 - H01L45/00
  • 用于铁电随机存取存储器的存储器单元的电容器的器件结构、制造方法以及设计结构。电容器可以包括:第一电极,由第一导体形成;铁电层,位于第一电极上;第二电极,位于铁电层上;以及盖层,位于第二电极的上表面上。第二电极可以由第二导体形成;盖层所具有的成分可以不含钛。可以通过蚀刻形成在第二导体的层上的材料层以限定硬掩模并然后改变材料在硬掩模中的保留部分以使保留部分在暴露于基于氯的反应离子蚀刻化学反应时具有比初始形成时相对较小的蚀刻速率来形成第二电极。
  • 制造方法半导体器件

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