专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]在线淀积系统和用于淀积薄膜层的过程-CN201280059330.7有效
  • R.W.布莱克;C.拉思维格;S.D.菲尔德曼-皮博迪 - 初星太阳能公司
  • 2012-09-28 - 2014-07-30 - C23C14/04
  • 本发明提供一种用于将升华的源材料气相淀积为基板上的薄膜的设备。该设备包括:容器,其配置成保持源材料;分配板,其定位于容器上方。分配板限定穿过它的通路图案。该设备还包括输送器,输送器配置成以连续环路行进使得转移表面在第一方向在分配板上方传递以在其上接收穿过分配板的通路的升华的源材料。输送器也配置成当在凸起边缘上运载基板时在第二方向上行进。在输送器在第二方向上行进以将源材料从转移表面转移到基板时,加热系统加热输送器。提供一种用于气相淀积升华源材料以形成薄膜的过程。
  • 在线系统用于薄膜过程

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