“S·A·麦克勒兰德”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]具有辅助反应室的等离子体室-CN202280019113.9在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;J·J·雷哈根;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B01J19/12 文献下载
摘要：一种等离子体反应系统，包括等离子体室和辅助反应室。等离子体室包括用于将反应气体引入等离子体室的等离子体室入口、形成内部空间的等离子体室壁、在等离子体室内产生的等离子体、用于将能量导向在等离子体室内产生的等离子体的波导件、以及用于从等离子体室运送第一出口气体的等离子体室出口，其中反应气体之间的化学反应可以在该内部空间中发生。辅助反应室包括配置成从等离子体室获得第一出口气体的辅助反应室入口、形成辅助反应室的内部空间的辅助反应室壁、以及用于从辅助反应室运送第二出口气体的辅助反应室出口，其中出口气体之间的第二化学反应可以在该内部空间中发生。
具有辅助反应等离子体

[发明专利]控制等离子体反应器的排放气体压力实现等离子体稳定性-CN202080032452.1在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;谢飞;李巍;C·P·汤姆;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-02-29 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种具有等离子体反应器(101a‑101n)的等离子体发生系统(100)。每个等离子体反应器(101a)包括：波导件(120)，用于传输通过该波导件的微波能量；等离子体腔(122a)，耦合到该波导件(120)，并被配置为在该等离子体腔内部产生等离子体(146)；气流入口(144)，用于将气体导入到该等离子体腔(122a)；排放气体管道(125a)，用于输送来自该等离子体腔(122a)的排放气体，其中该等离子体(146)将该气体转化为排放气体；和压力控制装置(300)，安装在该排放气体管道(125a)中，并被配置为控制该排放气体管道(125a)中的排放气体压力。等离子体发生系统(100)还包括歧管(127)，耦合到等离子体反应器(101a‑101n)的排放气体管道(125a‑125n)，并被配置为接收来自排放气体管道(125a‑125n)的排放气体。
控制等离子体反应器排放气体压力实现稳定性

[发明专利]用于监控等离子体反应的光学系统和反应器-CN202080032542.0在审
发明人： C·P·汤姆;谢飞;李巍;S·A·麦克勒兰德 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体发生系统(10)，包括：波导件(20)；等离子体腔，耦合到所述波导件(20)，并被配置为在其内部使用微波能量产生等离子体；空心的圆筒体(13)，从所述波导件(20)的壁上突出，并具有带有孔(66)的底盖；检测单元(61)，用于接收通过所述孔(66)从所述等离子体(46)发射的光，并被配置为测量在紫外线范围和红外线范围内的光强；和控制器(69)，用于控制所述检测单元(61)。
用于监控等离子体反应光学系统反应器

[发明专利]等离子体反应器的热管理-CN202080032543.5在审
发明人： S·A·麦克勒兰德;G·S·莱纳德三世;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-01 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体生成系统(10)，包括波导(20)，用于通过其传输微波能量，还包括内壁(40)，该内壁(40)设置在波导内以限定等离子体腔，其中等离子体(46)是使用微波能量在等离子体腔的内部产生的。该等离子体生成系统(10)还包括适配器(74)，该适配器(74)安装在波导(20)的第一侧上、与波导(20)由第一间隙(92)物理地分离，并且该适配器(74)具有气体出口(32)，由等离子体处理的气体通过气体出口(32)离开等离子体腔；以及EM密封件(94)，该EM密封件(94)设置在第一间隙(92)中并且构造成阻挡微波能量通过该第一间隙(92)泄漏。
等离子体反应器管理

[发明专利]具有回流换热器的等离子体反应器-CN202080032528.0在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-01 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体生成系统(10)包括波导(20)和内壁(40)，所述波导(20)用于将微波能传送通过，所述内壁(40)设置于所述波导内以限定等离子体空腔，其中等离子体(46)利用所述微波能而生成于所述等离子体空腔内。所述等离子体生成系统(10)还包括：适配器(44)，所述适配器(44)具有气体出口(32)，由所述等离子体(46)所处理的废气通过所述气体出口(32)离开所述等离子体空腔；回流换热器(100)，所述回流换热器(100)直接附接至所述适配器(44)并且具有气体通路，所述气体通路与所述适配器(44)中的气体出口(32)流体连通。所述回流换热器(100)从所述废气中回收热能并且利用所述热能来加热输入气体。
具有回流换热器等离子体反应器

[发明专利]用于处理气体的等离子反应器-CN202080032556.2在审
发明人： S·A·麦克勒兰德;G·S·莱纳德三世;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-02-29 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体产生系统(10)，包括：用于传输微波能量的波导(20)；设置在波导(20)内以限定等离子体腔的内壁(40)，其中等离子体(46)通过使用微波能量在等离子体腔内生成；第一进气口(44)安装在第一次的波导(20)和配置为引入第一气体至等离子腔内,在等离子腔内使用第一气体产生涡流(45),第一气体入口(44)具有一个孔(32)，由等离子体处理过(46)的气体穿过该孔(32)离开等离子腔；和离子体稳定器(38)，该离子体稳定器(38)具有圆形中空圆柱体形状并安装在波导(20)的第二侧，该等离子体稳定器(38)的纵向方向与第一涡旋流(45)的旋转轴平行。
用于处理气体等离子反应器