专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于夹持弯曲晶片的方法及系统-CN201780064161.9有效
  • A·巴朗;黄鲁平;S·昌达恩;嘉驹·盖伦·陈;T·梅里亚姆 - 科磊股份有限公司
  • 2017-10-18 - 2023-09-01 - H01L21/683
  • 本文中提出用于将弯曲薄衬底真空安装到平整吸盘上的方法及系统。一种真空吸盘包含三个或更多个可折叠波纹管,所述三个或更多个可折叠波纹管在所述吸盘上方移动且移动到与弯曲衬底接触。所述波纹管密封且真空夹置到所述衬底的背侧表面上。在一些实施例中,在夹置时所述波纹管折叠达至少500微米。可延伸密封元件安装于吸盘主体的表面上的凹陷环形通道中。在所述衬底朝向所述夹持表面移动时,所述可延伸密封元件在所述吸盘主体上方延伸至少5毫米且延伸到与所述衬底接触。在抽空所述吸盘与所述衬底之间的空间时,所述可延伸密封元件折叠到所述凹陷环形通道中,且所述衬底夹置到所述吸盘主体的所述平整夹持表面上。
  • 用于夹持弯曲晶片方法系统

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