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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]仪器化衬底设备-CN202180015993.8在审
  • R·D·塔斯;E·詹森 - 科磊股份有限公司
  • 2021-02-22 - 2022-11-01 - G01J1/42
  • 一种仪器化衬底设备经配置以测量波长分辨辐射，例如极紫外线辐射。所述仪器化衬底设备包含衬底及所述衬底上的光电传感器。所述光电传感器包含光发射材料、光电子收集器及测量电路。所述测量电路电耦合到所述光发射材料及所述光电子收集器。所述测量电路经配置以通过电流计测量由所述光电子收集器产生的电流。使用此电流以通过所述仪器化衬底设备上的控制器或通过将所述电流传达到工厂自动化系统来确定波长分辨EUV测量信息。
  • 仪器衬底设备
  •  1 
  • 共 1 条
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