|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 2个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]光致抗蚀剂去除剂组合物-CN201980006788.8在审
-
R·阿伦特;吴恒鹏;林观阳
-
默克专利股份有限公司
-
2019-01-23
-
2020-08-07
-
G03F7/42
- 本发明涉及组合物，其基本上由以下物质组成：选自樟脑磺酸和结构(I)的苯磺酸的磺酸组分，其中R为H或C‑1至C‑18正烷基，草酸、溶剂组分，所述溶剂基本上由有机溶剂组分或有机溶剂组分与水的混合物组成，其中有机溶剂组分由约100wt％至约85wt％的所述溶剂组分组成，和进一步其中所述有机溶剂组分或为选自由溶剂(III),(IV),(V),(VI)(其中R选自‑(‑O‑CH2‑CH2‑)n’‑OH,‑OH和‑O‑C(＝O)‑CH3，其中n’等于1、2、3或4),(VII)(其中Ra为H或C‑1至C‑4烷基基团),(VIII),(IX)(其中Rb为C‑1至C‑18烷基基团),(X)和(XI)组成的组，或为选自该组的至少两种有机溶剂的混合物。本发明还涉及含有表面活性剂组分的这种组合物，以及涉及使用这些组合物作为抗蚀剂去除剂的方法二丙二醇单甲基醚(III),
- 光致抗蚀剂去除组合
|
