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[发明专利]真空处理设备用的传动机构-CN200410055954.9无效
发明人： R·林登伯格;M·科尼格;U·舍斯勒;S·班格特 -专利权人：应用菲林股份有限两合公司
申请日： 2004-07-30 - 公布日： 2005-11-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及真空处理设备的传动机构，该设备使基片托座绕轴线从进料闸经至少一个处理室被送至出料闸。在中心设有固定的支柱，其上支承着可旋转的传动装置壳体，壳体包括使基片托座旋转和径向移动的控制杆。在该壳体里设有电机和控制杆的可旋转的移动驱动装置，控制杆分别与基片托座连结。电机与位置固定的轴承箱连接，与支柱同心地支承有托架的可转动的星形组件，托架与双臂肘形杆的一端铰接，肘形杆各有一枢轴销，肘形杆的另一端分别与其中一个控制杆铰接，枢轴销在第一控制凸轮里导向，该凸轮走向规定控制杆的径向运动。通过第二控制凸轮，使径向运动与可变的切向运动可变地周期性叠加，该凸轮有一通过铰接板与传动装置壳体相连的肘形杆。
真空处理备用传动机构

[发明专利]用于平面矩形或方形基片的真空－处理设备-CN200410085683.1无效
发明人： R·林登伯格;F·富克斯;U·舒斯勒;S·班格特;T·斯托利 -专利权人：应用菲林股份有限两合公司
申请日： 2004-10-15 - 公布日： 2005-04-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一个真空－处理设备被设置用于大边缘长度的平面基片，该基片在一个至少基本垂直位置上被输送和处理。该设备包括：一个真空室并带有至少两个在其圆周上分布的向真空室侧开闸口的处理室，一个闸口系列和在真空室内基片夹持器(13)的一个可转动配置结构带有一个用于该基片夹持器(13)相对处理室的按顺序转动及径向运动的驱动机构(1)，其中为了减小该定位表面，室容积和抽真空时间，为了简化该“操作”以及为了首先减少通过剥落的层材颗粒对基片的污染特建议，该基片夹持器在其下边区域中通过操纵杆装置(8)与驱动机构连接并且至少该操纵杆装置的下边回转轴承被安置在该基片夹持器承载表面的高度(H)的一水平中心线(M)下方。
用于平面矩形方形真空处理设备

[发明专利]阴极溅射设备-CN200410063816.5无效
发明人： F·富克斯;S·邦格特;R·林登伯格;H·格里姆;T·斯托莱;U·舒布勒 -专利权人：应用菲林股份有限两合公司
申请日： 2004-07-09 - 公布日： 2005-02-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种为了在真空中涂覆基底而阴极溅射的设备，该设备包括载体和冷却系统；载体用于待溅射的材料，基本上为管形并可绕其纵轴线旋转；冷却系统在与设在载体之外的冷却装置相结合时适于使冷却介质在管形的载体中循环；该设备还包括用于连接供电回路的装置和用于使管形的可旋转的载体绕其纵轴线旋转的驱动装置。所述设备还提供磁系统，该磁系统沿纵轴线伸展用于对于设置在由待溅射的材料所制成的靶附近的等离子进行磁包围，该磁系统由极靴、用渗磁的金属制成的磁轭及磁化装置组成，该磁化装置适于在磁化系统中产生磁通，磁系统的极性的磁极设在管形的可旋转的载体之外并框架地包围该载体，并在管形的可旋转的靶载体中设有对应的磁极。
阴极溅射设备