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[发明专利]微机械转速传感器组件和相应的制造方法-CN201811064369.3有效
发明人： N·博德;A·拉斯尔;B·库尔曼;J-T·利瓦尔德;M·屈内尔;N·F·库尔曼;O-A·普吕茨;P·德根费尔德-舍恩堡;R·努尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01P3/44 文献下载
摘要：本发明实现一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够通过所述驱动装置经由所述驱动框架装置围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴相对彼此垂直地布置；和能够通过驱动装置经由驱动框架装置沿着第二轴(y)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置，用于感测围绕第一轴(z)的第三外部转速。第一转速传感器装置通过驱动框架装置与第二转速传感器装置连接。驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，这些驱动框架能够通过驱动装置沿着第三轴(x)反相振荡地被驱动。
微机转速传感器组件相应制造方法

[发明专利]振动稳健的转速传感器-CN201410642263.2有效
发明人： R·努尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-11-11 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01C19/5733 文献下载
摘要：本发明提出一种转速传感器，其具有一个衬底和多个振动质量，所述衬底具有主延伸平面，其中，对于所述多个振动质量中的每一个振动质量有：所述振动质量能够被驱动进行驱动振动，其中，所述驱动振动沿着与所述主延伸平面平行地设置的驱动方向实现；所述振动质量是能够沿着两个不同的偏转方向偏转的，其中，所述两个不同的偏转方向垂直于所述驱动方向地设置；其中，所述转速传感器配置用于根据所述多个振动质量的多个所探测的偏转产生多个探测信号，其中，所述多个振动质量的每个偏转方向分配有所述多个探测信号中的一个探测信号，其中，所述转速传感器如此配置，使得所述转速传感器的直线加速度、旋转加速度和离心加速度关于所述转速传感器的至少一个旋转轴线通过所述多个探测信号中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡。
振动稳健转速传感器

[发明专利]具有正交补偿结构的旋转速率传感器-CN200780039535.8有效
发明人： R·努尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2007-08-24 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转速率传感器，其具有至少一个正交补偿结构(25)，该正交补偿结构包括至少一个第一电极(100)和一个第二电极(200)。在此，第二电极(200)具有第一电极面(210)和第二电极面(220)，所述第一电极面和第二电极面相互对置地设置。第一电极(100)设置在第一电极面(210)与第二电极面(220)之间的中间空间(300)中。第一电极面(210)或第二电极面(220)在其延伸上具有相对于第一电极(100)不同的间距。本发明的核心在于，第二电极(200)的第一电极面(210)与第二电极面(220)在其延伸上相互间具有基本上相同的间距。
具有正交补偿结构旋转速率传感器