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- [发明专利]干涉测量装置-CN03822831.9无效
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D·马沙尔;M·－H·迪沃伊辛;D·布赖德尔;P·德拉巴雷克
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罗伯特·博世有限公司
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2003-03-28
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2005-10-19
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G01B9/02
- 本发明涉及一种干涉测量装置用于检测一个测量物体(8)表面的形状、粗糙度和距离，它有一个调制干涉仪(2)，从一个射线源(1)将短相干的射线输给这干涉仪，而且这干涉仪具有第一个分光器(2.3)用于将输入的射线分离成一个通过第一个臂引导的第一个分支光(2.1)和一个通过第二个臂引导的第二个分支光(2.1’)，其中借助于一个调制装置(2.2，2.2’)使一个分支光相对于另一个在其光相位或光频率上移动，并经过一个延迟段(2.9’)，接着这些分支光会聚在调制干涉仪(2)的另一个分光器(2.10)上；还有一个与调制干涉仪(2)在空间上分开的，并用这测量干涉仪通过一种光导纤维装置(6)耦合的或者可耦合的测量探头(3)，在这测量探头里会聚起来的分支光被分离成一束通过具有一个倾斜的物体侧的出口表面(3.4)的探头－类导纤维单元(3.1，3.2)通向表面的测量光线和一束参照光线，并且在这探头里使在表面上反射的测量光线(r1 (t))和在一个参照平面上反射的参照光线(r2 (t))重迭起来；而且还有一个接收装置(4)和一个分析处理单元(5)用于将传送给它的射线转变成电信号并用于根据相位差来分析处理信号。准确地表面测量可按如下方法变得更有利：出口表面(3.4)相对于光学探头轴线(3.5)的法线的倾角(r)至少达46°。
- 干涉测量装置
- [发明专利]干涉测量式测量装置-CN03811950.1无效
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D·马沙尔;M·－H·迪瓦辛;D·布雷德;P·德拉巴雷克
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罗伯特－博希股份公司
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2003-03-28
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2005-08-17
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G01B9/00
- 用于利用一个调制干涉仪(2)获得一个测量物体(8)表面的形状、粗糙度或距离的干涉测量式测量装置，由一个辐射源(1)将短相干的射线输送到所述调制干涉仪，并且该干涉仪具有一个用于将输送的射线分配成一个通过一个第一臂导引的第一分射线(2.1)和一个通过一个第二臂导引的第二分射线(2.1’)的第一射线分配器(2.3)，其中所述一个分射线相对于另一分射线通过一个调制机构(2.2，2.2’)在其光相位或光频率上偏移，并移动一个延迟距离(2.9’)，并且紧接着将所述分射线在调制干涉仪(2)的另一射线分配器(2.10)上与一个同调制干涉仪(2)在空间上分开的且与该干涉仪通过一个光导纤维系统(6)已耦联或可耦联的测量探头(3)联合，在该探头中所述联合的分射线在一个公共臂中在一个部分透射的部位(3.3)中分成一个测量射线和一个基准射线，并在其中使在表面上反射的测量射线(r1 (t))和在一个基准面上反射的基准射线(r2 (t))重叠，并且通过一个接收机构(4)和一个分析单元(5)将传导到它们的射线变换成电信号，并以一个相位差为基础分析所述信号。一种用于即使在狭窄的空心空间中也能够可靠测量的有利结构的特征在于，所述部分透射的部位(3.3)通过一个探头纤维(3.1)的一个相对于光学探头轴线(3.5)以一个出射角(α)倾斜的出射面(3.31)和一个衔接在物体端的纤维段(3.2)的一个同样相对于光学探头轴线(3.5)以一个入射角(β)倾斜的入射面(3.32)而构成，其中在出射面(3.31)与入射面(3.32)之间构成一个楔形缝隙。
- 干涉测量装置
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