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[发明专利]磁性记录媒体和在基板上图案化薄膜的方法-CN201410246897.6有效
发明人： O·那拉玛苏;S·文哈弗贝克;M·孚德;M·文卡特杉;N·M·克里希纳 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2009-10-15 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： G11B5/855 文献下载
摘要：本发明提供一种用于在基板上图案化磁性薄膜的方法，所述方法包括在所述磁性薄膜周围提供图案，其中所述图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的所述磁性薄膜的部分。置放所述基板以接收这些能量化离子。可使所述磁性薄膜的所述部分经受热激发。使所述磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化磁性媒体的方法，所述媒体的两侧上具有磁性薄膜。
使用量化离子图案磁性薄膜方法

[发明专利]原子层沉积光刻技术-CN201380009300.X无效
发明人： B·吴;A·库玛;O·那拉玛苏 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-01-24 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在本揭示案中提供执行原子层沉积光刻工艺的方法与设备。在一个实施例中，在器件中的材料层上形成特征的方法包括以下步骤：脉冲第一反应剂气体混合物至设置于处理腔室中的基板的表面以在基板表面上形成材料层的第一单层、引导高能辐射以处理第一单层的第一区，及脉冲第二反应剂气体混合物至基板表面以选择性地在第一单层的第二区上形成第二单层。
原子沉积光刻技术

[其他]基于碳纳米管的太阳能电池及形成其的设备-CN201090000947.8有效
发明人： O·那拉玛苏;C·盖伊;V·L·普施帕拉吉;K·K·辛格;R·J·维瑟;M·A·孚德;R·霍夫曼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-06-09 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：本实用新型涉及基于碳纳米管的太阳能电池及形成其的设备。太阳能电池中设有碳纳米管(CNT)，这些碳纳米管用于：界定太阳能电池的微米/次微米几何尺寸；及/或做为电荷传输体，以有效地从吸收层移除电荷载流子以减少吸收层中的电子空穴复合速率。太阳能电池可包含：基材；多个在该基材的该表面上的金属催化剂的区域；多个碳纳米管束状物，形成于该多个金属催化剂的区域上，每一束状物包括大略垂直于该基材的该表面而呈对准的碳纳米管；以及光活性太阳能电池层，形成于这些碳纳米管束状物及该基材的暴露表面上，其中该光活性太阳能电池层在这些碳纳米管束状物上及该基材的该暴露表面上为连续的。光活性太阳能电池层可包含非晶硅p/i/n薄膜；然而，本实用新型的概念亦可应用至具有微晶硅、SiGe、碳掺杂微晶硅、CIS、CIGS、CISSe以及各种p型二六族二元化合物以及三元与四元化合物的吸收层的太阳能电池。
基于纳米太阳能电池形成设备

[发明专利]用于电池应用的多孔非晶硅-碳纳米管复合式电极-CN201080049787.0有效
发明人： V·L·普施帕拉吉;O·那拉玛苏;S·文哈弗贝克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-08-26 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H01M4/04 文献下载
摘要：本发明的实施例大致关于形成能量储存装置的方法与设备。更明确地，本文所述实施例关于形成电池与电化学电容器的方法。一实施例中，提供用于能量储存装置中的高表面积电极的形成方法。该方法包括在具有导电表面的集电器上形成非晶硅层、将非晶硅层浸入电解液以在非晶硅层中形成一连串的互连孔、并在非晶硅层的一连串的互连孔中形成碳纳米管。
用于电池应用多孔非晶硅纳米复合电极

[发明专利]使用能量化离子以图案化磁性薄膜的方法-CN200980142620.6有效
发明人： O·那拉玛苏;S·文哈弗贝克;M·孚德;M·文卡特杉;N·M·克里希纳 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2009-10-15 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： G11B5/84 文献下载
摘要：本发明提供一种用于在一基板上图案化一磁性薄膜的方法，其包括：在该磁性薄膜周围提供一图案，其中该图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的该磁性薄膜的一部分。置放该基板以接收这些能量化离子。可使该磁性薄膜的该部分经受热激发。使该磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化一磁性媒体的方法，该媒体的两侧上具有一磁性薄膜。
使用量化离子图案磁性薄膜方法

[发明专利]用于透明导电氧化物置换的磁性纳米结构-CN200980143578.X无效
发明人： S·文哈弗贝克;O·那拉玛苏;N·M·克里希纳;V·L·普施帕拉吉;R·古克 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2009-09-28 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H01B1/00 文献下载
摘要：本发明提供一光学透明导电层，其具有低片电阻及良好光学透明度的期望的结合。该导电层在平面包含多种磁性纳米结构，所述结构对准成为数个大致平行的连续导电途径，其中磁性纳米结构的密度容许导电层的实质上光学透明度。磁性纳米结构可为纳米颗粒、纳米线或化合物纳米线。磁性化合物纳米线可包含由一层诸如镍或钴的磁性金属所覆盖的纳米银线。再者，磁性化合物纳米线可包含附接至磁性金属纳米线的纳米碳管(carbon nanotube，CNT)。在基材上形成导电层的方法包含：沉积多种磁性纳米结构于基材上以及施加磁场以将纳米结构形成为平行于基材表面的数个导电途径。
用于透明导电氧化物置换磁性纳米结构