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[发明专利]测试表面粒子污染的粒子测试系统、采样条、投射曝光设备和方法-CN202180028836.0在审
发明人： M.席林;M.鲁斯;M.纳格尔 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2021-02-15 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及用于测试表面(2)上的粒子污染的粒子测试系统(1)，包括用于接收粒子(5)的采样带(7)和采样装置(3)。采样装置(3)包括辊体(9)，该辊体(9)设置成在辊体的外表面(10)上引导采样带(7)。采样装置(3)被设计用于将辊体(9)与采样带(7)一起在待测试的表面(2)上滚动，以便将粒子(5)从待测试的表面(2)转移到所述采样带(7)。采样装置(3)具有引导框(22)以便将采样装置(3)在所述待检查的表面(2)上或相邻于所述待检查的表面(2)定位。引导框(22)具有至少一个接触接口(24、25)，通过至少一个接触接口(24、25)，引导框(22)搁置在待检查的表面(2)上或另一表面上。根据本发明，采样装置(3)具有第一测量装置(16)和/或第二测量装置(19)。第一测量装置(16)被设计用于检测辊体(9)的任何转动运动。第二测量装置(19)被设计用于检测辊体(9)在待检查的表面(2)上的任何接触压力。
测试表面粒子污染系统采样投射曝光设备方法

[外观设计]用于显示屏的图形用户界面-CN201830050552.2有效
发明人： F.蒂梅斯费尔德;M.席林 -专利权人：曼柴油机和涡轮机欧洲股份公司
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：用于显示屏的图形用户界面。2．本外观设计产品的用途：显示发动机状态和数据。3．本外观设计产品的设计要点：图形用户界面。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1主视图。5．省略视图：因显示屏为现有设计且无设计要点，故省略其它视图。6．指定基本设计：设计1。7．界面说明：用户通过点击或滑动界面上的按钮启动或停止发动机。
外观设计图形用户界面显示屏省略发动机状态滑动按钮发动机图片

[外观设计]用于显示屏的图形用户界面-CN201830050549.0有效
发明人： F.蒂梅斯费尔德;M.席林 -专利权人：曼柴油机和涡轮机欧洲股份公司
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：用于显示屏的图形用户界面。2．本外观设计产品的用途：显示发动机信息。3．本外观设计产品的设计要点：图形用户界面。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。5．省略视图：因显示屏为现有设计且无设计要点，故省略其它视图。6．界面说明：用户通过点击或触摸界面选取信息，且可通过点击或触摸按钮进行确认或查阅详细信息。
外观设计图形用户界面显示屏省略发动机信息触摸按钮触摸界面详细信息图片

[外观设计]用于显示屏的图形用户界面-CN201830050551.8有效
发明人： F.蒂梅斯费尔德;M.席林 -专利权人：曼柴油机和涡轮机欧洲股份公司
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：用于显示屏的图形用户界面。2．本外观设计产品的用途：显示发动机状态和数据。3．本外观设计产品的设计要点：图形用户界面。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1主视图。5．省略视图：因显示屏为现有设计且无设计要点，故省略其它视图。6．指定基本设计：设计1。7．界面说明：用户通过点击或触摸界面上的特定部位对发动机的参数（例如转速）产生影响。
外观设计图形用户界面显示屏省略发动机状态发动机触摸图片

[外观设计]用于显示屏的图形用户界面-CN201830050596.5有效
发明人： F.蒂梅斯费尔德;M.席林 -专利权人：曼柴油机和涡轮机欧洲股份公司
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：用于显示屏的图形用户界面。2．本外观设计产品的用途：显示发动机状态和数据。3．本外观设计产品的设计要点：图形用户界面。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。5．省略视图：因显示屏为现有设计且无设计要点，故省略其它视图。6．界面说明：用户通过点击或触摸界面上的图标对数据和信息进行确认、重置或切换。
外观设计图形用户界面显示屏省略发动机状态图标重置触摸图片