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[发明专利]电气部件及其形成方法-CN202110861884.X在审
发明人： M·R·布尼;J·霍斯克－肖特;M·汉舍尔;C·金 -专利权人：美敦力公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01G9/008 文献下载
摘要：本发明公开了一种电气部件和一种形成此类部件的方法的各种实施例。所述电气部件包含衬底，所述衬底具有第一主表面、第二主表面以及设置在所述衬底中的腔体。所述腔体在所述第一主表面与所述第二主表面之间延伸。所述电气部件还包含阳极电极，所述阳极电极包含设置在所述衬底的所述第二主表面上和所述腔体上方的导电箔层。钽材料设置在所述腔体内并且包含钽颗粒。介电层设置在所述钽颗粒上，且电解质阴极层设置在所述介电层上。所述电气部件还包含设置在所述腔体上方的阴极电极。
电气部件及其形成方法

[发明专利]电气部件及其形成方法-CN202110862112.8在审
发明人： M·R·布尼;J·霍斯克－肖特;M·汉舍尔 -专利权人：美敦力公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01G9/025 文献下载
摘要：本发明公开了一种电气部件和一种形成此类部件的方法的各种实施例。所述电气部件包含衬底，所述衬底具有第一主表面、第二主表面以及设置在所述衬底中的腔体。所述腔体在所述第一主表面与凹陷表面之间延伸。钽材料设置在所述腔体内。另外，所述钽材料包含钽颗粒。所述电气部件还包含设置在所述钽颗粒上的介电层和设置在所述介电层上的电解质阴极层。电气部件还包含设置在所述电解质阴极层上和所述腔体上方的阴极电极。
电气部件及其形成方法