“M·奥伯斯特”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]单体式检测器-CN202180086704.3在审
发明人： M·奥伯斯特;H·G·H·纽鲍尔;T·施魏格尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01T1/00 文献下载
摘要：一种单体式检测器可以用于带电粒子射束装置。该检测器可以包括多个感测元件(311)和多个信号处理部件，该多个感测元件(311)形成在半导体衬底的第一侧上，感测元件中的每个感测元件被配置为接收从样品发射的带电粒子，并且生成与所接收的带电粒子的第一特性成比例的载流子；并且该多个信号处理部件形成在半导体衬底的第二侧上，该多个信号处理部件是被配置为确定表示所接收的带电粒子的第二特性的值的系统的一部分。衬底的厚度范围可以为从大约10μm至30μm。衬底可以包括区域，该区域被配置为使形成在第一侧上的多个感测元件与形成在第二侧上的多个信号处理部件绝缘。
体式检测器

[发明专利]带电粒子检测系统中的两用读出电路系统-CN202180085492.7在审
发明人： J·L·桑德迈尔;L·M·克莱茵;M·奥伯斯特;H·G·H·纽鲍尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：公开了一种用于带电粒子检测器的改进的读出电路和一种用于操作该读出电路的方法。一种改进的电路包括：被配置为接收表示传感器层的输出的信号并且包括第一输入端子和输出端子的放大器、连接在第一输入端子与输出端子之间的电容器、以及与电容器并联连接在第一输入端子与输出端子之间的电阻器。该电路可以被配置为在第一模式和第二模式下操作。电容器可以使用电容器的电容值可调节，以使得能够对在第一模式下操作的电路的增益进行控制并且对在第二模式下操作的电路的带宽进行控制。
带电粒子检测系统中的两用读出电路