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[发明专利]用于大范围质量流量检验的方法和设备-CN201780077963.3有效
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊;W·科勒 -专利权人：万机仪器公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：节省空间并且可以在大流速范围内检验未知流体的流速的质量流量检验器(MFV)包括：腔室，该腔室被配置为接纳流体；临界流喷嘴，该临界流喷嘴与所述腔室连接；以及第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器分别检测所述腔室中的流体压力和所述临界流喷嘴的上游的流体压力。所述MFV的控制器被配置为通过以下步骤检验所述流体的流速：(i)在第一流量范围中，基于由所述第一压力传感器检测到的所述流体的压力上升速率来测量第一流速，并且基于由所述第一压力传感器和所述第二压力传感器检测到的压力来确定所述流体的气体性质函数；以及(ii)在第二流量范围中，基于由所述第二压力传感器检测到的压力和所确定的所述气体性质函数来测量第二流速。
用于范围质量流量检验方法设备

[发明专利]用于脉冲气体输送的方法和设备-CN202080021088.9在审
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊 -专利权人：万机仪器公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：在脉冲气体输送系统中，通过上游阀门将腔室预填充至规定压力。此后，打开下游控制阀门以在气体脉冲期间控制气体的流。专用控制器可以基于在脉冲期间检测到的压力和温度在脉冲期间在反馈回路中控制下游控制阀门。
用于脉冲气体输送方法设备

[发明专利]用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法-CN201980011115.1有效
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊;G·希尔 -专利权人：万机仪器公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法。提供了一种对流体进行脉冲输送的流体控制系统，该系统包括：流道、发起和终止来自流道的流体脉冲的隔离阀以及脉冲质量流量控制器(MFC)。该MFC包括：对流道中的流体流量进行控制的控制阀、对流道中的流量进行测量的流量传感器以及控制器，该控制器对通过控制阀的流体流量和隔离阀的开关进行控制，以对流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。可以基于在由隔离阀发起和终止的脉冲期间来自流量传感器的反馈，对通过控制阀的流体流量进行控制。
用于流体脉冲输送控制系统方法

[发明专利]利用外部压力触发进行脉冲气体输送的方法和设备-CN201980058333.0在审
发明人： M·勒巴塞伊;M·J·夸拉提洛;丁军华 -专利权人：万机仪器公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种用于流体的脉冲输送的流体控制系统以及关联方法，包括截止阀以及位于该截止阀上游的质量流量控制器(MFC)。该MFC包括：流道、对流道中的流体流量进行控制的控制阀、对流道中的流率进行测量的流量传感器，以及控制器，该控制器具有来自截止阀的指示该截止阀的打开的阀输入。该控制器被配置成，响应于阀输入来对通过控制阀的流体流量进行控制，以发起和终止从流道到截止阀的流体脉冲，从而对流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。该阀输入可以是压力信号，并且该MFC可以包括对压力信号进行感测的压力传感器。
利用外部压力触发进行脉冲气体输送方法设备

[发明专利]用于多通道质量流量和比率控制系统的方法和装置-CN201980030414.X在审
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊;W·科勒 -专利权人：万机仪器公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G05D11/13 文献下载
摘要：提供了流体控制系统以及用于流体控制的对应方法，该流体控制系统包括质量流量控制系统、质量流量比率控制系统以及质量流量和比率控制系统。这些系统允许一个共享的压力传感器被用于多个流道，以及控制器，该控制器可以基于由该共享的压力传感器检测到的流体压力来准确地确定质量流量。
用于通道质量流量比率控制系统方法装置