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[发明专利]用于操纵衬底的工具、操纵方法及外延反应器-CN201580035249.9有效
发明人：温森佐·奥格里阿里;弗朗西斯科·科里亚;弗兰科·佩雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2015-07-02 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：外延反应器中的用于操纵衬底的工具(1)包括臂(2)、抓取盘(3)和球接头(4)；所述抓取盘(3)具有在其下面上的座(5)，该座用于接纳待操纵的衬底(6)；所述抓取盘(3)通过所述球接头(4)安装在臂(2)上，球接头相对于所述抓取盘(3)居中地放置；所述抓取盘(3)成形为使得仅与待操纵的所述衬底(6)的上边缘接触；所述抓取盘(3)相对于所述臂(1)具有两个旋转运动自由度以允许适合于衬底在外延反应器的基座的袋状部中的位置。
用于操纵衬底工具方法外延反应器

[发明专利]具有支撑元件的衬托器-CN201480052013.1有效
发明人：弗朗西斯科·科里亚;D·克里帕;劳拉·戈博;M·毛切里;温森佐·奥格里阿里;弗兰科·佩雷蒂;马尔科·普利西;卡尔梅洛·韦基奥 -专利权人： LPE公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明主要涉及用于外延生长的反应器的衬托器，所述衬托器包括：圆盘形主体(90)，其具有第一面和第二面，其中第一面包括适于接收将经受外延生长的基底(2000)的至少一个区(99)；和至少一个支撑元件(91+97)，其用于基底(2000)、位于区(99)处；支撑元件(91+97)包括具有相对于圆盘被升高的边缘(97)的圆形圆盘(91)；区(99)可以是圆盘形主体(90)的凹进部(99)的底部或凸起的顶部；圆盘形主体(90)至少在凹进部(99)或凸起处是实心的。
具有支撑元件衬托

[发明专利]具有在基底支撑件上的弯曲的同心凹槽的衬托器-CN201480067667.1有效
发明人：弗朗西斯科·科里亚;D·克里帕;温森佐·奥格里阿里;弗兰科·佩雷蒂;马里奥·普莱蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2014-12-17 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于外延生长反应器的衬托器；它大体上包含主体(601)，所述主体(601)具有面(602)，该面(602)包括适合于接纳将经历外延生长的基底的至少一个区(603)；该区(603)具有用于放置所述基底的支托表面(604)或与用于放置所述基底的支托表面(604)相关联；支托表面(604)设置有图案，该图案包括多个弯曲的凹槽伸展部(606)，该多个弯曲凹槽伸展部(606)使它们的中心大体上在与所述支托表面(604)相同的位置(605)中。
具有基底支撑弯曲同心凹槽衬托

[发明专利]具有衬底支撑表面上的拱形凹槽的衬托器-CN201480061427.0有效
发明人：弗朗西斯科·科里亚;温森佐·奥格里阿里;弗兰科·佩雷蒂;马里奥·佩雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2014-11-06 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及用于外延生长反应器的衬托器；其大体上由主体(601)组成，该主体具有面(602)，该面包括至少一个区域(603)，该区域适用于接纳待经受外延生长的衬底；该区域(603)具有用于搁置所述衬底的搁置表面(604)或与该搁置表面相关联；该搁置表面(604)设置有图案，该图案包括拱形凹槽(606)的至少三个复数体(605A、605B、605C)；特别是，所述凹槽(606)的凹面朝向搁置表面(604)的边缘。
具有衬底支撑表面上拱形凹槽衬托

[发明专利]具有装载/卸载装置和反应器的用于外延生长的反应室-CN201480067668.6有效
发明人：弗朗西斯科·科里亚;D·克里帕;劳拉·戈博;M·毛切里;温森佐·奥格里阿里;弗兰科·佩雷蒂;马尔科·普利西;卡尔梅洛·韦基奥 -专利权人： LPE公司
申请日： 2014-12-17 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种用于外延生长的反应器的反应室，包括：‑具有凹部的壁(1)，‑衬托器(7)，其包括主体和凸起，其中所述主体相对于所述壁(1)以旋转方式放置在所述凹部中，‑圆盘状支撑元件(8)，其具有适合于稳定地放置在所述凸起上的形状，具有使得从所述凸起径向地突出的尺寸并且适合于支撑将经历外延生长的一个或更多个基底，和‑平坦覆盖物(91，92)，其位于所述壁(1)的上方并且具有在所述圆盘状支撑元件(8)处的孔(10)；其中所述孔(10)的形状对应于所述圆盘状支撑元件(8)的形状；其中所述覆盖物(92)具有用于装载/卸载所述圆盘状支撑元件(8)的装置(16)的通行的至少一个中空导引件(11，12)，其中所述中空导引件(11，12)从所述覆盖物(92)的边缘开始延伸至所述孔(10)。
具有装载卸载装置反应器用于外延生长反应

[发明专利]带不对称凹部的衬托器、用于外延沉积的反应器和生产法-CN201610959219.3在审
发明人：温森佐·奥格里阿里;西尔维奥·佩雷蒂;弗朗西斯科·科里亚;弗兰科·佩雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2016-11-03 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：公开了带不对称凹部的衬托器、用于外延沉积的反应器和生产法。本发明涉及一种用于外延沉积的反应器的衬托器，其包括具有水平盘形的主体；主体具有第一上表面、第二下表面和主体的竖直对称轴线；第一面有多个盘形凹部，其中的每个具有质心并具有穿过该质心的凹部的对称轴线；沿包括主体的竖直对称轴线的任何竖直平面截取的凹部中的每一个的截面关于任何轴线不对称；沿平行于主体的竖直对称轴线且垂直于主体的穿过凹部的质心的半径的任何竖直平面截取的凹部中的每一个的截面关于竖直轴线对称。由于这样的衬托器，补偿由于从衬托器插入(冷的，即在低温下)反应器的反应室中时到开始在基底上沉积(在高温下)时衬托器的形变造成的负面影响是可能的。
不对称衬托用于外延沉积反应器生产

[实用新型]用于外延沉积的具有液体分配器的反应室和反应器-CN201620768775.8有效
发明人：弗朗西斯科·科里亚;温琴佐·奥格里亚里 -专利权人： LPE公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于外延沉积的具有液体分配器的反应室和反应器，其中，用于外延沉积反应器的反应室(1)，包括外表面(2)，外表面2包括至少一个可被液体冷却的第一区域(Z1)和至少一个可被气体冷却的第二区域(Z2)，所述第一区域(Z1)和所述第二区域(Z2)被至少一个从所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分开；所述反应室(1)包括一个上部分配系统(100)，所述上部分配系统(100)包括一个冷却剂分配管(110)，所述分配管上有孔(120)，所述孔(120)的形状至少和第一屏障(3)的形状部分相似，且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一区域(Z1)的附近。
用于外延沉积具有液体分配器反应反应器

[实用新型]背面具有凹陷/凸起的基座和用于外延沉积的反应器-CN201620765740.9有效
发明人：西尔维奥·普雷蒂;温琴佐·奥格里亚里 -专利权人： LPE公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种背面具有凹陷/凸起的基座和用于外延沉积的反应器，其中，用于外延沉积反应器的基座(200)，包括至少一个非中心凹陷(233A)和/或至少一个非中心凸起，以确保基座(200)的角度定位和旋转运动从一个旋转轴(300)传导到基座(200)；所述至少一个非中心凹陷(233A)和/或至少一个非中心凸起的形状可补偿所述基座(200)在外延沉积反应器中使用时随温度的变化。
背面具有凹陷凸起基座用于外延沉积反应器

[实用新型]用于操作衬底的工具和外延生长炉-CN201620331537.0有效
发明人：弗朗西斯科﹒科里亚;温琴佐﹒奥格里亚里;弗兰科﹒普雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种在外延生长炉中操作衬底的工具(1)，包括吊臂(2)和抓握盘(3)；所述抓握盘(3)包括一个置于其下表面的用以容纳待操作的衬底(6)的底座(5)；抓握盘(3)安装在吊臂(2)上；其特征在于抓握盘(3)还包括一由弹性材料制成、可与待操作的衬底6的边缘接触的环形部件(31)。
用于操作衬底工具外延生长

[发明专利]涂覆的衬托器和抗弯曲法-CN201480053217.7在审
发明人：弗朗西斯科·科里亚;D·克里帕;劳拉·戈博;M·毛切里;温森佐·奥格里阿里;弗兰科·佩雷蒂;马尔科·普利西;卡尔梅洛·韦基奥 -专利权人： LPE公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及用于外延生长的反应器的衬托器，由具有第一面和第二面的由石墨制成的圆盘形主体(20、30)组成；第一面包括至少一个区，特别地包括适于接收将经受外延生长的基底的圆形凹进部(21)或凸起(31)；第一面暴露对应于此区(21、31)的第一上表面(22、32)和围绕此区(21、31)的第二上表面(23、33)；第二面暴露下表面(24、34)；第二上表面(22、33)和下表面(24、34)用碳化硅的层来涂覆；所以，衬托器的向外弯曲在该衬托器的寿命期间即在已经被用于碳化硅的外延生长的许多工艺之后被限制。
衬托弯曲

[实用新型]用于外延反应器的反应室的位置可调部件、反应室和外延反应器-CN201520416708.5有效
发明人：温琴佐.奥格里亚里;弗朗西斯科.科里亚;马里奥.普雷蒂;弗兰科.乔瓦尼.普雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种位于外延反应器的石英反应室(1)内部的部件(3)、用于外延反应器的反应室和外延反应器，该部件包括具有正面、背面和两个侧面的水平石英板(30)以及分别在所述两个侧面处的两个垂直石英壁(31、32)；其还包括用于调整所述板(30)的垂直位置的装置(34、35、36)，外延反应器的反应室和外延反应器也都包括该部件。优点是：本实用新型创造使反应室的使用者轻易地使部件的性能适合于在腔室内部执行的工艺。
用于外延反应器反应位置可调部件

[实用新型]用于外延反应器的反应室的顶部倾斜部件、反应室和外延反应器-CN201520417640.2有效
发明人：温琴佐·奥格里亚里;弗朗西斯科·科里亚;马里奥·普雷蒂;弗兰科·乔瓦尼·普雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本专利涉及位于外延反应器的石英反应室(1)内部的部件(3)、用于外延反应器的反应室和外延反应器，该部件包括具有正面、背面和两个侧面的水平石英板(30)以及分别在两个侧面处的两个垂直石英壁(31、32)；所述板的前部和/或后部弯曲。用于外延反应器的反应室和外延反应器均包括该部件。优点是：该部件可以改进部件的气流和温度性能。
用于外延反应器反应顶部倾斜部件

[发明专利]外延反应器的反应室和使用所述室的反应器-CN201080016602.6有效
发明人：斯瑞尼瓦斯·亚拉加达;纳塔莱·斯佩恰莱;弗兰科·佩雷蒂;马里奥·佩雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2010-04-16 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本发明涉及基本上由石英构件组成的外延反应器的反应室；石英构件包括具有由壁(1A、1B、1C、1D)界定的内腔(2)的石英构件部分(1)；腔(2)包括外延反应器的反应和沉积区(3)；区(3)适合于容纳在其中待加热的基座(4)；反应室还包括以使得形成对面壁并成为所述区(3)的壁的方式被布置为邻近所述壁(1A、1B、1C、1D)的石英部件(5)。
外延反应器反应使用

[发明专利]外延反应器的反应室-CN200980146751.1有效
发明人：马里奥·普莱蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2009-11-20 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明涉及基本上由中空的石英部件构成的外延反应器的反应室；该中空的石英部件包括具有圆柱体或棱柱体或圆锥体或棱锥体形状的石英部件部分(1)和设置在所述石英部件部分(1)中的轴向通孔(2)；该石英部件部分(1)适合于根据三个方向中的两个界定反应和沉积区(3)，并且适合于容纳在轴向通孔(2)内部被加热的至少一个基座(4)。该室设置有由基于石英的材料制成的且适合于将由基座(4)发出的红外辐射反射回去的反射层(5)；该反射层(5)被应用于所述石英部件部分(1)和/或被应用于反应室的石英组件。
外延反应器反应

[发明专利]晶体生长用反应器-CN200780043070.3无效
发明人：克劳迪欧·波洛西;维多利奥·泊泽缇;纳塔莱·斯佩恰莱;杰安卢卡·瓦伦特;索尼亚·德·安吉利斯;丹尼罗·克里帕;弗兰科·佩雷蒂 -专利权人： LPE公司
申请日： 2007-11-11 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种反应器(1)，其用于材料的晶体生长、特别是碳化硅或三族元素氮化物的晶体生长；该反应器包括：室(2)，其被分成第一区域(21)和第二区域(22)，所述分隔是通过具有至少一个开口(31)的分隔壁(3)来实现的，所述至少一个开口(31)使所述第一和第二区域(21，22)相互连通；适于向所述第一区域(21)供给所述材料的至少一种前体气体的注入部件(41和42)；适于从所述第二区域(22)排出废气的排气部件(5)；位于所述第二区域(22)中并且适于支撑生长晶体的支撑部件(6)；以及适于将所述第一区域和第二区域(21，22)保持在2000℃和2600℃之间的温度的加热部件(71，72)。
晶体生长反应器

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